氮化硅的基本性质就是在于它的结构了，其中氮化硅的硅原子其实是位于四面体的中心，在它的周期也是具有四个氮原子的，并且分别在四面体的几个顶点，然后以每三个四面体共用一个原子的形式，在三维空间形成连续而又坚固的网络结构。氮化硅的很多性能都归结于此结构。纯Si3N4为3119，有α和β两种晶体结构，均为六角晶形，其分解温度在空气中为1800℃，在011MPa氮中为1850℃。Si3N4 热膨胀系数低、导热率高，故其耐热冲击性较佳。